spectra在線膜厚測量裝置技術分析

使用小型卡爾蔡司光譜儀，根據(jù)形狀和尺寸對每種應用進行樣品包裝。
從薄膜和圓盤形狀到玻璃板和圓柱狀物體，如果同時使用顯微光學系統(tǒng)，則可以將光線縮小到細點，并輕松測量樣品的薄膜厚度。

可測量樣本示例

• 硅、氧化硅、氮化硅

• 砷化鎵

• 二氧化鈦

• 光刻 膠

• 染料膜、油膜和彩色濾膜

• 影片

• 涂料和粘合劑

• 紫外光固化樹脂

• 金屬氧化膜、介電膜

• 聚合體

• 空氣層

• 光盤、中藥、光盤

以1200mm薄膜厚度測量包為例，我們將介紹Enplanner。

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